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模块化真空镀膜技术(PVD)

  • 桌面式真空镀膜系统
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桌面式真空镀膜系统

  • 模块化真空腔体设计
  • 兼容磁控溅射,电子束蒸发,热蒸发
  • 占用实验室空间小
  • 多种技术组合,多变
  • 产品描述:桌面式真空镀膜系统,模块化镀膜系统,桌面式磁控溅射系统,桌面式热蒸发系统,桌面式电子束蒸发系统。
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HEX桌面式薄膜溅射沉积系统


1.  快速拆换的六块独立板面形成的腔室 (盲板、可视窗口、溅射源窗口、QCM窗口)

2.  系统节约实验室空间,占地约1m2,腔体尺寸:65cm*60cm*70cm,重约50kg

3.  抽真空速度快 (20分钟内达到5*10-6Torr)

4.  4英寸及以下尺寸样品台 (可选配2-20rpm旋转、300℃加热、直流偏压)

5.  四种溅射源:磁控溅射;电子束蒸发源 、热蒸发、有机物蒸发源

6.  可集成膜厚测量功能,手套箱系统,以及各种定制功能

7.  自动操作软件控制

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