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桌面式模块化真空镀膜技术(PVD)

  • 石英晶振-膜厚监测
石英晶振-膜厚监测

石英晶振-膜厚监测

  • 石英晶振仪
  • 监控精度:0.1 A/s
  • 产品描述:石英晶振仪,QCM
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有机物热蒸发源

可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。


主要指标:

1.  紧凑设计

2.  监控精度:0.1 A/s


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