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桌面式模块化真空镀膜技术(PVD)

  • 多功能样品台
多功能样品台

多功能样品台

  • 加热至 500 C / 冷却
  • 4 / 6 英寸
  • 旋转
  • 偏压
  • 产品描述:多功能样品台
  • 在线订购

有机物热蒸发源

可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。


主要指标:

1.  4 / 6 英寸样品

2.  加热最高可达 500 C

3.  旋转20 rpm

4.  直流偏压

5.  水冷冷却


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