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桌面式模块化真空镀膜技术(PVD)

  • 热蒸发源
热蒸发源

热蒸发源

  • 热舟蒸发源
  • 坩埚容量0.5 cc
  • 产品描述:热蒸发源,Thermal Evaporation
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热蒸发源

可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。


主要指标:

1.  热舟式蒸发源

2.  坩埚容量:0.5 cc


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