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氧原子源-OBS是一种热模式的气体裂解源，可以产生没有离子状态的H原子束流，可以有效避免离子轰击对衬底的影响。
特点：
氧原子裂解效率可达到：80%
原子氢密度高达10^15/s*cm2
没有高能粒子和离子存在
低功耗
集成水冷
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