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分子束外延束源炉

  • 量产型大容量束源炉-PEZ
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量产型大容量束源炉-PEZ量产型大容量束源炉-PEZ量产型大容量束源炉-PEZ

量产型大容量束源炉-PEZ

  • 产品型号:PEZ
  • 产品描述:量产型大容量束源炉-PEZ是为较高产能MBE系统特殊设计的,宽温度范围,大容量束源炉,温度范围:200到1400℃,可以蒸发不同元素和化合物,包括标准的III/V族和II/VI族材料,如Al,Ga,In,As,Zn。 加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。广泛应用于GaAs,CIGS,太阳能电池,OLED等领域。
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量产型大容量束源炉-PEZ是为较高产能MBE系统特殊设计的,宽温度范围,大容量束源炉,温度范围:200到1400℃,可以蒸发不同元素和化合物,包括标准的III/V族和II/VI族材料,如Al,Ga,In,As,Zn。
加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。广泛应用于GaAs,CIGS,太阳能电池,OLED等领域。


产品特点:

安装法兰:DN63CF/DN100CF/DN150CF/DN200CF

真空内长度:250~400 mm

加热灯丝类型:标准的钽加热灯丝/热唇加热灯丝/冷唇加热灯丝/双灯丝加热

热偶:W5%Re / W26%Re (C型)

加热温度:200~1400℃

除气温度:最高1500℃

外部烘烤温度:250℃

冷却方式:集成水冷或独立冷屏

坩埚容量:40~4000 cc

坩埚材料:PBN


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