辐射式加热-最高1000°C
该加热系统中,衬底粘贴或是用夹具固定在样品托上,样品托可通过进样室进行传递。
加热器本身固定在腔体内部,不进行传递,加热丝通电后以辐射的方式对样品托或是样品进行加热。
辐射加热器主要优点是加热温度高,可容纳大尺寸基片。而且完全与高压RHEED兼容。
您也可以查看电阻式加热器和激光加热器。
PLD样品台&靶台&简化
脉冲激光沉积电阻式加热器
脉冲激光沉积激光式加热器
脉冲激光沉积靶台
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