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超高真空磁力传样杆

  • 超高真空磁力耦合传样杆
超高真空磁力耦合传样杆

超高真空磁力耦合传样杆

  • 型号:RM40
  • 产品描述:超高真空磁力耦合传样杆(RM40),可线性运动和旋转,主要功能是将样品在真空环境下传输样品/掩模版/样品拖等。磁力杆外部的稀土磁铁和磁力杆内部的磁铁耦合在一起进行传输,内部高精度轴承保证了传样杆即使经过多次加热烘烤也能顺畅地传样。
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超高真空磁力耦合传样杆(RM40),可线性运动和旋转,主要功能是将样品在真空环境下传输样品/掩模版/样品拖等。磁力杆外部的稀土磁铁和磁力杆内部的磁铁耦合在一起进行传输,内部高精度轴承保证了传样杆即使经过多次加热烘烤也能顺畅地传样。


特点:

安装法兰:DN40CF,可定制;

线性传输行程:可定制;

缩回后腔体内长度:Min. 10 mm,Max. 1250 mm;

线性力:70 N;

扭力矩:5 Nm;

可承受的烘烤温度:Max. 150℃;

工作压力范围:1000 mbar ~ 10-11 mbar;

兼容各种超高真空腔体;

可选配各种功能的叉,爪,钳夹,升降机构等;

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