双坩埚团簇型束源炉-DCS应用于有机材料或者金属蒸发,如Au,Ag,Bi,Ga,In等。两个独立的源可以应用于不同材料掺杂,以及不同温度的材料蒸发。
产品特点:
法兰尺寸:CF40
真空腔体内长度:180-400mm,(标准220mm)
靶基距:100-160mm
外部烘烤温度:250℃
热偶:K型或C型
除气温度:1100℃,1500℃
加热温度:25-1100℃,50-1400℃
坩埚容量:0.6 cc
坩埚材料:PBN,石英,Al2O3
冷却方式:冷却水流速30l/h
选配:挡板
电话:010-80698356
邮箱:Info@be-instruments.com
地址: 北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室