高温束源炉-HTEZ用于低蒸汽压的元素和化合物材料薄膜沉积,例如Fe,Cr,Ni,Co,Au,Ge等材料,以及表面科学分析和磁性或氧化物薄膜沉积。
产品特点:
安装法兰:DN40CF / DN63CF
真空内长度:220~400 mm
加热灯丝类型:钽丝加热
热偶:W5%Re / W26%Re( C型)
加热温度:最高1900℃(根据所选坩埚材料)
除气温度:最高1900℃(根据所选坩埚材料)
外部烘烤温度:250℃
冷却方式:集成水冷 / 独立冷屏
坩埚容量:1.5 / 10 / 35 cc
坩埚材料:Al2O3,BeO,Ta,W(根据要求其他材料)
选配:挡板
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