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分子束外延束源炉

  • 耐氧化束流源 OREZ
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耐氧化束流源 OREZ耐氧化束流源 OREZ

耐氧化束流源 OREZ

  • 型号:OREZ
  • 产品描述:耐氧化束流源OREZ满足高氧气背底真空的氧化物MBE和其他真空应用的要求。OREZ典型应用于工作气压从10-4到几mbar的系统,并且温度加热到1200℃。 使用贵金属和镍基结构材料最大的改善了普通超高真空束流源抗富氧环境。特殊的镍合金加热丝和屏蔽部分可是在超高真空中和持续的氧气氛围内加热至1000℃。贵金属合金加热丝和屏蔽部分可以加热至1200℃。
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OREZ耐氧化束流源满足高氧气背底真空的氧化物MBE和其他真空应用的要求。用于工作气压从10-4到几mbar的系统,并且温度加热到1200℃。典型的应用包括:利用表面氧化形成氧化层,在氧气氛围内蒸发金属形成氧化物薄膜,以及直接蒸发氧化物。表面氧化层和氧化物薄膜普遍应用于绝缘材料,如微电子器件。厚的氧化物薄膜常用于探测器和光学器件,由于氧化物具备光学,磁学,电学以及半导体等多方面性能。


特点:

法兰尺寸:CF40/CF63

真空腔体内长度:200~400mm

加热灯丝类型:镍合金(1000℃),贵金属合金(1200℃),加热灯丝有标准加热,热唇加热,冷唇加热,双灯丝加热

热偶:NiCr/NiAl (K型)

加热温度:200~1200℃

除气温度:1000/1200℃

外部烘烤温度:250℃

冷却方式:内集成的水冷或者单独的水冷

坩埚容量:10/35/60/125cm3

坩埚材料:PBN/Al2O3/BeO

选配:挡板