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TCC热裂解源是由标准束源炉衍生的，应用于以原子团簇形式存在的高蒸汽压材料，包括：As，Se，Sb，Te，Mg。
产品特点：
安装法兰：DN40CF
真空腔体内长度：200～400 mm
加热丝材质：Ta
加热温度：100～650℃
可承受烘烤温度：250℃
冷却方式：集成水冷或独立冷屏
坩埚容量：35／130 cc
坩埚材料：PBN
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