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分子束外延系统

  • Octoplus 400 MBE系统
Octoplus 400 MBE系统

Octoplus 400 MBE系统

  • 型号:Octoplus 400
  • 产品描述:Octoplus 400分子束外延系统是一个普适且设计完美的MBE系统,非常适合于III/V族, II/VI族,及其他复合半导体材料应用。它可以非常容易地调整适用于小的晶片及2、3、4英寸标准晶片。竖直分割式腔体设计可以装配先进的源炉(组件),从而实现精确地一层一层的分子束外延生长。
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MBE的产品范围及质量得力于团队成员的多年研发经验。我们回顾过去的15年应用于化合物半导体材料的研究和制造领域的复杂系统及各种功能的源炉(组件)的发展和制造,每个产品都是由MBE专业人才进行组装和测试的。

Octoplus 400是一个普适且设计完美的MBE系统,非常适合于III/V族, II/VI族,及其他复合半导体材料应用。它可以非常容易地调整适用于小的晶片及2、3、4英寸标准晶片。竖直分割式腔体设计可以装配先进的源炉(组件),从而实现精确地一层一层的分子束外延生长。

● 用于研发的紧凑型MBE系统

● 应用于III/V族, II/VI族,碲镉汞外延生长

● 适用于最大4英寸样品

● 8个标准的MBE法兰孔(根据要求可以设计为10个)

● 可以升级和选配实现系统扩展

● 原位表征能力

● 易于使用和维护

● 洁净室装配和测试

● 强大的MBE博士专家支持团队


我们可以根据所有客户的要求,提供不同种类的束流源,裂解源,气体源以及样品台。可以使用束流计,反射式高能电子衍射仪(RHEED)或者四极杆质量分析仪非常容易的实现样品的原位表征。EpiSoft MBE软件可以控制所有的挡板,源及样品台温度,腔室真空度和低温冷凝泵温度。最大的确保了操作的重复性和安全性。

Octoplus 400的主要特点是极高的可靠性和普适性,以及其占地空间小。这些特点使得我们的系统非常适合于研发。

标准的Octoplus 400有8个4.5’’(CF63)源孔,可以根据需要做成10个源孔的集成系统。快速抽真空进样室配有水平磁力杆传输系统,可以在不破坏MBE腔室真空的前提下,简便地进行样品传输。

我们非常乐意一起讨论MBE的参数规格并给出相应的合理建议。Octoplus 400应用于很多先进实验室,可以发送相关的文献列表。如有问题或需要参数规格说明,请联系我们的销售部门。