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分子束外延系统

  • 有机物分子束外延系统
有机物分子束外延系统

有机物分子束外延系统

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有机物分子束外延系统

集成系统设计

分子泵抽气系统腔体

8个有机物蒸发源孔

1-4英寸的样品台

精确控温的低温蒸发源

快速蒸发

膜厚和成分的均匀性在+/-1%

软件可以实现全自动的一层层生长,并且可以保存生长方法,蒸发数据等

快速进样室可以通过升降台装载5-10个样品



基于超高真空和MBE设计基础上,我们制造了有机物材料生长的超高真空沉积系统。超高真空系统可以应用于OLED或者有机太阳能电池制造领域,通过蒸发不同的有机物沉积在4英寸基片来实现。该系统可以单独配备快速进样室。

我们基于OME设计专门制造了高精度控温的低温源。这确保了高质量的有机物薄膜沉积。我们选择可信赖的合作伙伴提供真空泵,闸板阀,磁力传样杆及引线接口等标准真空配件以确保我们产品的质量。

系统配备了原位表征工具,我们提供设备配备了所有引线,电源,控制器和其他配件。也配备了系统软件/硬件控制,以及MBE生长过程软件控制。

MBE的产品范围及质量得力于团队成员的多年研发经验。我们非常乐意一起讨论MBE的参数规格并给出相应的合理建议。如有问题或需要参数规格说明,请联系我们的销售部门。