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  • 原位实时监测俄歇探针
原位实时监测俄歇探针

原位实时监测俄歇探针

  • In situ Real Time AugerProbe
  • 产品描述:俄歇探针是Staib特意设计的原位,实时监测工具。是为较为难操作的环境设计的,如高气压,材料沉积,长工作距离,非常适合生长腔体中的监测。俄歇激发需要电子源,倾斜角度的RHEED电子源可以用于俄歇激发,提供原位,实时RHEED结构数据和俄歇元素组分信息,并且在生长过程中同时显示出来。
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俄歇探针是Staib特意设计的原位,实时监测工具。是为较为难操作的环境设计的,如高气压,材料沉积,长工作距离,非常适合生长腔体中的监测。俄歇激发需要电子源,倾斜角度的RHEED电子源可以用于俄歇激发,提供原位,实时RHEED结构数据和俄歇元素组分信息,并且在生长过程中同时显示出来。基片可以被监测,过程参数可以被调节,可以在沉积过程中通过RHEED衍射和俄歇分析仪研究生长材料情况。在生长过程中可以观察独特的元素组分,也可以通过建模表征为不同的矩阵进行量化。通过合适的激发源,REELS光谱可以从生长的材料中获得。



特点:

适合于无干扰真空腔体:

非常好且可调的能量分辨率可以优化俄歇信号和详细的REELS。

快速获得实时的元素生长形貌。

较大的工作距离和较小的直径。

稳定的结构允许在超高真空到mTorr的范围内生长时进行操作。

可以在MBE应用中长时间稳定重复操作使用。

可以安装于大多数样品表面:

生长腔体上的普通或者有点不同的法兰孔。

进样腔或者传输腔内样品的生长前和生长后的观察。

标准法兰尺寸CF63,以及不同尺寸。