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表面分析附件

    圆柱镜面对称紧凑型能量分析仪

    • Compact Single-Pass Energy Analyzer ESA 100
    • 产品描述:ESA100/150是圆柱镜面对称的紧凑型能量分析仪,可以安装或者改进标准的系统。新的分析仪具备:较大的工作距离,距光谱仪约有33mm;可调节的能量分辨率和分辨能力,以及电子可选择;可以测量较大的样品面积,对样品位置无苛刻要求;对样品位置的能量校准具备非常好的稳定性;宽能量范围的完整电子源;通过电脑上的多功能软件完整的控制分析仪。
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    ESA100/150是圆柱镜面对称的紧凑型能量分析仪,可以安装或者改进标准的系统。新的分析仪具备:较大的工作距离,距光谱仪约有33mm;可调节的能量分辨率和分辨能力,以及电子可选择;可以测量较大的样品面积,对样品位置无苛刻要求;对样品位置的能量校准具备非常好的稳定性;宽能量范围的完整电子源;通过电脑上的多功能软件完整的控制分析仪。


    ESA法兰尺寸是CF1006英寸的,样品位置通过设备前面板显示,显示出样品周围较宽的可用范围。从法兰到样品有较大的距离,可以根据标准的或者特殊的腔体加装特殊的转接口以便安装ESA能量分析仪。电子枪提供具有宽范围能量扫描能力的非常好的聚焦光束。样品可选择的SEM成像功能可以在测试区域精确选择。

    特点:

    能量范围:10-2500eV

    分辨率:1-10eV,电子可调

    能量分辨率由于REELS应用的原始束流能量

    分辨能力:0.1%-0.6%,电子可调

    分析模式:dE=常数,dE/E=常数,电子可选

    探测:锁相技术;脉冲计数技术

    数据收集:多功能WinSpectro XP和分析软件收集,可以对能量,分辨率,分析模式,电子倍增器控制;WinSpectroSEM软件和SEM附件可以对样品沿XY扫描和成像。

    超高真空设计,烘烤温度最高为250℃。