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电子枪

  • 产品描述:电子枪是加速器的电子注入器,它发射出具有一定能量、一定流强、一定束流直径和发射角的电子束流注入到加速管。电子枪的功能在于给出满足要求的电子束,典型应用于俄歇能量谱仪(AES),能量损失谱仪(ELS),X射线能谱仪(XPS)
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电子枪是加速器的电子注入器,它发射出具有一定能量、一定流强、一定束流直径和发射角的电子束流注入到加速管。电子枪的功能在于给出满足要求的电子束,典型应用于俄歇能量谱仪(AES),能量损失谱仪(ELS),X射线能谱仪(XPS)

我们可以提供多种型号的电子源,分别针对不同应用领域和分析要求进行优化设计,能量范围覆盖10ev-125keV,束斑直径从20nm到525mm,包括各种宽束电子源、精密聚焦型电子源、低能、高能电子源,可满足表面清洗、表面溅射、空间环境模拟等各种用途。

可以根据客户需求定制各种电子枪,我们的产品以可靠的质量、卓越的性能赢得广大用户的青睐!


我们可以提供如下系列电子枪:

微米和纳米聚焦电子束
Min. Spot Size Max. Energy Model Description
<85 nm 15 keV » EF-15005
150 nm 12 keV » EF-1201
250 nm 12 keV » EF-1202
400 nm 10 keV » EF-1005
2 µm 8 keV » EM-802
3 µm 5 keV » EM-503
6 µm 5 keV » EM-506


电子流

Max. Energy Model Description
100 eV » F01CC
5 keV » EMF-5
10 keV » EMF-10
20 keV » EHF-20
30 keV » EHF-30
40 keV » EHF-40
50 keV » EHF-50
60 keV » EHF-60
80 keV » EHF-80
100 keV » EHF-100


高束流能量电子源

Max. Energy Max. Beam Current Power Model Description
3 keV 300 µA » ES-380-HC
5 keV 300 µA » ES-550-HC
10 keV 200 µA » ES-1050-HC
20 keV 0.5 mA / 1.0 mA 10 W / 20 W » EH-20-10 / EH-20-20
30 keV 1.0 mA / 3.3 mA 30 W / 100 W » EH-30-30 / EH-30-100
40 keV 0.5 mA / 1.0 mA 20 W / 40 W » EH-40-20 / EH-40-40
50 keV 0.5 mA / 1.0 mA 25 W / 50 W » EH-50-25 / EH-50-50
60 keV 0.5 mA / 1.0 mA 30 W / 60 W » EH-60-30 / EH-60-60
80 keV 0.5 mA / 1.0 mA 40 W / 80 W » EH-80-40 / EH-80-80
100 keV 0.5 mA / 1.0 mA 50 W / 100 W » EH-100-50 / EH-100-100


高能量小聚焦电子源

Max. Energy Spot Size
Model Description
20 keV <150 µm » EH-20
30 keV <150 µm » EH-30
40 keV <150 µm » EH-40
50 keV <150 µm » EH-50
60 keV <150 µm » EH-60
80 keV <150 µm » EH-80
100 keV <150 µm » EH-100
60 keV 50 µm » GDS 60 (for GED applications)


低能量电子源

Max. Energy Max. Beam Current Special features
Model Description
100 eV 100 µA » NEK-150
100 eV 100 µA scannable » NEK-150-SC
100 eV 20 µA for charge compensation » F01CC


RHEED电子源

Max. Energy Model Description
12 keV » RHEED-12
15 keV » RHEED-15
20 keV » RHEED-20
30 keV » RHEED-30
35 keV » RHEED-35
40 keV » RHEED-40
50 keV » RHEED-50
60 keV » RHEED-60
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