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电子枪是加速器的电子注入器，它发射出具有一定能量、一定流强、一定束流直径和发射角的电子束流注入到加速管。电子枪的功能在于给出满足要求的电子束，典型应用于俄歇能量谱仪(AES)，能量损失谱仪(ELS)，X射线能谱仪(XPS)
我们可以提供多种型号的电子源，分别针对不同应用领域和分析要求进行优化设计，能量范围覆盖10ev-125keV，束斑直径从20nm到525mm，包括各种宽束电子源、精密聚焦型电子源、低能、高能电子源，可满足表面清洗、表面溅射、空间环境模拟等各种用途。
可以根据客户需求定制各种电子枪，我们的产品以可靠的质量、卓越的性能赢得广大用户的青睐！
我们可以提供如下系列电子枪：
微米和纳米聚焦电子束| Min. Spot Size | Max. Energy | Model Description |
| <85 nm | 15 keV | » EF-15005 |
| 150 nm | 12 keV | » EF-1201 |
| 250 nm | 12 keV | » EF-1202 |
| 400 nm | 10 keV | » EF-1005 |
| 2 µm | 8 keV | » EM-802 |
| 3 µm | 5 keV | » EM-503 |
| 6 µm | 5 keV | » EM-506 |
电子流源
| Max. Energy | Model Description |
| 100 eV | » F01CC |
| 5 keV | » EMF-5 |
| 10 keV | » EMF-10 |
| 20 keV | » EHF-20 |
| 30 keV | » EHF-30 |
| 40 keV | » EHF-40 |
| 50 keV | » EHF-50 |
| 60 keV | » EHF-60 |
| 80 keV | » EHF-80 |
| 100 keV | » EHF-100 |
高束流能量电子源
| Max. Energy | Max. Beam Current | Power | Model Description |
| 3 keV | 300 µA | » ES-380-HC | |
| 5 keV | 300 µA | » ES-550-HC | |
| 10 keV | 200 µA | » ES-1050-HC | |
| 20 keV | 0.5 mA / 1.0 mA | 10 W / 20 W | » EH-20-10 / EH-20-20 |
| 30 keV | 1.0 mA / 3.3 mA | 30 W / 100 W | » EH-30-30 / EH-30-100 |
| 40 keV | 0.5 mA / 1.0 mA | 20 W / 40 W | » EH-40-20 / EH-40-40 |
| 50 keV | 0.5 mA / 1.0 mA | 25 W / 50 W | » EH-50-25 / EH-50-50 |
| 60 keV | 0.5 mA / 1.0 mA | 30 W / 60 W | » EH-60-30 / EH-60-60 |
| 80 keV | 0.5 mA / 1.0 mA | 40 W / 80 W | » EH-80-40 / EH-80-80 |
| 100 keV | 0.5 mA / 1.0 mA | 50 W / 100 W | » EH-100-50 / EH-100-100 |
高能量小聚焦电子源
| Max. Energy |
Spot Size |
Model Description |
| 20 keV | <150 µm | » EH-20 |
| 30 keV | <150 µm | » EH-30 |
| 40 keV | <150 µm | » EH-40 |
| 50 keV | <150 µm | » EH-50 |
| 60 keV | <150 µm | » EH-60 |
| 80 keV | <150 µm | » EH-80 |
| 100 keV | <150 µm | » EH-100 |
| 60 keV | 50 µm | » GDS 60 (for GED applications) |
低能量电子源
| Max. Energy | Max. Beam Current |
Special features |
Model Description |
| 100 eV | 100 µA | » NEK-150 | |
| 100 eV | 100 µA | scannable | » NEK-150-SC |
| 100 eV | 20 µA | for charge compensation | » F01CC |
RHEED电子源
| Max. Energy | Model Description |
| 12 keV | » RHEED-12 |
| 15 keV | » RHEED-15 |
| 20 keV | » RHEED-20 |
| 30 keV | » RHEED-30 |
| 35 keV | » RHEED-35 |
| 40 keV | » RHEED-40 |
| 50 keV | » RHEED-50 |
| 60 keV | » RHEED-60 |
电话：010-80698356
邮箱：Info@be-instruments.com
地址： 北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室
