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离子源离子源

离子源

  • 产品描述:离子源可以对样品进行轰击清洗,溅射辅助镀膜,空间探测。
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离子源是使试样原子或分子电离,从中引出具有一定形状、能量和强度的离子束的装置,是各种类型粒子加速器、质谱仪、离子束刻蚀装置不可缺少的部件。

根据不同的应用需求,我们提供多种型号和规格的离子源供用户选用,用于样品刻蚀、精密刻蚀和深度剖析、电荷中和等等。我们的离子源设计紧凑、质轻、性能高,采用独一无二的电子光学设计,具有无与伦比的优势。

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