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脉冲激光沉积系统

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脉冲激光沉积系统

  • PLD
  • LMBE
  • 产品描述:荷兰TSST公司提供专业的脉冲激光沉积系统和激光分子束外延系统。
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荷兰Twente Solid State Technology BV(TSST)公司专注于为用户提供定制化的脉冲激光沉积系统(PLD),以及薄膜制备解决方案,具有20年研究与生产薄膜沉积系统的经验。

TSST与世界最大的纳米与微系统技术研究中心之一 ——荷兰Twente大学MESA+ Institute保持着密切合作。TSST的脉冲激光沉积系统凝聚了薄膜制备领域的尖端技术。

激光分子束外延系统(LMBE),是在PLD的基础上发展起来的。随着薄膜制备技术的发展,人们可以通过RHEED监测薄膜生长过程,在PLD上实现单原子层级的外延薄膜生长(layer by layer)。

TSST恰是可用于PLD高氧压环境的,差分式抽气RHEED(TorrRHEED)的发明人,在系统制造,RHEED的使用以及结果分析方面,有丰富的经验。