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Mini电子束蒸发源
可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。
主要指标：
1. 蒸发口数量：1 / 4
2. 材料棒，坩埚尺寸：2-4 mm直径，长度27 mm，最大1 cc坩埚
3. 250 W/500 W供电电源，多通道控制，可共蒸发
4. 适用于超薄薄膜制备，10 nm到单原子层。
5. 靶材利用率高
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