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桌面式模块化真空镀膜技术(PVD)

  • Mini电子束蒸发源
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Mini电子束蒸发源Mini电子束蒸发源

Mini电子束蒸发源

  • 单口/四口
  • 坩埚/材料棒两种工作模式
  • 产品描述:Mini电子束蒸发源,E-beam Evaporation
  • 在线订购

Mini电子束蒸发源

可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。


主要指标:

1.  蒸发口数量:1 / 4

2.  材料棒,坩埚尺寸:2-4 mm直径,长度27 mm,最大1 cc坩埚

3.  250 W/500 W供电电源,多通道控制,可共蒸发

4.  适用于超薄薄膜制备,10 nm到单原子层。

5.  靶材利用率高


若需要E型电子束蒸发源,请参考MBE电子束蒸发源

如有设备需求,欢迎随时联系我们

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