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桌面式模块化真空镀膜技术(PVD)

  • 磁控溅射靶枪
磁控溅射靶枪

磁控溅射靶枪

  • 2 英寸
  • 直流/射频兼容
  • 产品描述:磁控溅射靶枪,磁控溅射源,溅射靶枪,Sputter Gun
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磁控溅射靶枪

可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。


主要指标:

1.  靶材尺寸:2英寸

2.  靶材厚度:0.5-6 mm,1 mm(磁性材料)

3.  可兼容直流电源,射频电源,脉冲直流电源,高功率脉冲电源

4.  设计有水冷管道

5.  靶材利用率高达40%


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