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分子束外延裂解源

  • 氢原子源-HABS
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氢原子源-HABS氢原子源-HABS

氢原子源-HABS

  • 型号:HABS
  • H原子裂解效率可达到80%~98%
  • 产品描述:氢原子源是一种热模式的气体裂解源,可以产生没有离子状态的H原子束流,可以有效避免离子轰击对衬底的影响。
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氢原子源-HABS是一种热模式的气体裂解源,可以产生没有离子状态的H原子束流,可以有效避免离子轰击对衬底的影响。


特点:

氢原子裂解效率可达到:80%~98%

原子氢密度高达10^16/s*cm^2

没有高能粒子和离子存在

低功耗:< 200 W

集成水冷