语言选择: 中文版line英文版

分子束外延裂解源

  • 氧原子源-OBS
  • 氧原子源-OBS
氧原子源-OBS氧原子源-OBS

氧原子源-OBS

  • 型号:OBS
  • O原子裂解效率可达到80%
  • 产品描述:氧原子源是一种热模式的气体裂解源,可以产生没有离子状态的H原子束流,可以有效避免离子轰击对衬底的影响。
  • 在线订购

原子源-OBS是一种热模式的气体裂解源,可以产生没有离子状态的H原子束流,可以有效避免离子轰击对衬底的影响。


特点:

原子裂解效率可达到:80%

原子氢密度高达10^15/s*cm^2

没有高能粒子和离子存在

低功耗

集成水冷

上一个:氢原子源-HABS下一个:热气注入源-TGI