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分子束外延束源炉

  • 硅升华源-SUSI/SUSI-D
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硅升华源-SUSI/SUSI-D

  • 型号:SUSI
  • 产品描述:硅升华源-SUSI是专门用于生长超薄Si薄膜,Si的III-V族掺杂,GaAs掺杂,超纯硅灯丝,全硅设计。束流的控制精度可达到0.1A/s。
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硅升华源-SUSI是专门用于生长超薄Si薄膜,Si的III-V族掺杂,GaAs掺杂,超纯硅灯丝,全硅设计。束流的控制精度可达到0.1A/s。


产品特点:

专门用于生长Si薄膜;

III-V族和GaAs应用中的Si掺杂;

高纯材料设计;

水冷设计的电学接触;

全硅材料设计束源炉;