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VCCS阀式裂解源的主要功能是高精度控制蒸发一些具有腐蚀性的元素，最初是为了元素Sb设计的，后来发展到其他各个方面的应用，例如CdTe, Mg等，蒸发源内部采用全PBN设计。
产品特点：
适用材料：Sb，Te，Mg，CdTe等
坩埚容量：100 ~ 420 cc；
全PBN设计；
快速稳定束流产出；
快速装载设计；
联系人：张娜娜
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