VGCS阀式裂解源专门用于制备磷化物,例如,GaP,InP等材料,应用于HEMTS,HBTS和GaAlInP激光二极管等器件中。
产品特点:
P2产出比高 (P2 / P4>150);
坩埚容量:100 ~ 420 cc;
大截面锥形阀;
快速稳定束流产出;
安全装载设计;
没有裂解区;
兼容各种MBE系统;
热裂解源-TCC
腐蚀性元素阀式裂解源-V
砷元素阀式裂解源-VAC
硫化物阀式裂解源-VSS
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