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EUV分析成套系统

  • EUV 掩模版反射率仪
EUV 掩模版反射率仪

EUV 掩模版反射率仪

  • 波长范围:12.5~14.5 nm
  • 产品描述:EUV 掩模版反射率仪
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德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司,成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统,各种类型的深(极)紫外光源,光学元件,集成的分析光谱仪器,软X射线解决方案等。

EUV 掩模版反射率仪

技术参数:

wavelength range 12.5 ~ 14.5 nm
Spot size < 250 x 100 micron
Time to measure within 30 seconds
Spectral resolution 1.7 pm
Accuracy < 3 pm




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