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德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司，成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统，各种类型的深（极）紫外光源，光学元件，集成的分析光谱仪器，软X射线解决方案等。
EUV 掩模版反射率仪
技术参数：
| wavelength range | 12.5 ~ 14.5 nm |
| Spot size | < 250 x 100 micron |
| Time to measure | within 30 seconds |
| Spectral resolution | 1.7 pm |
| Accuracy | < 3 pm |
联系人：张娜娜
手机：18201230727
电话：010-80698356
邮箱：Info@be-instruments.com
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