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脉冲激光沉积组件

  • 脉冲激光沉积辐射式加热器
脉冲激光沉积辐射式加热器

脉冲激光沉积辐射式加热器

  • 产品描述:脉冲激光沉积辐射式式加热器可以应用于较大尺寸的样品加热且温度更高的加热,允许与高压RHEED兼容工作。
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辐射式加热-最高1000°C


该加热系统中,衬底粘贴或是用夹具固定在样品托上,样品托可通过进样室进行传递。

加热器本身固定在腔体内部,不进行传递,加热丝通电后以辐射的方式对样品托或是样品进行加热。

辐射加热器主要优点是加热温度高,可容纳大尺寸基片。而且完全与高压RHEED兼容。