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脉冲激光沉积组件

  • 脉冲激光沉积激光式加热器
脉冲激光沉积激光式加热器

脉冲激光沉积激光式加热器

  • 产品描述:脉冲激光沉积激光式加热器可以实现非常高的加热温度,并且可以实现快速升温和降温,对于真空系统是最干净的加热方式。
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激光加热-最高>1100°C


激光加热是通过一个聚焦的红外激光束辐照样品托或是基片的背面,以实现快速加热。

该系统包括3部分:第一部分是样品托,主要用于装载基片,可以通过进样室传递。第二部分是样品架,主要用于固定样品托(该样品架同样可以兼容电阻加热器)。第三部分是激光器以及光学组件,采用高功率的二极管激光器,激光束通过光学组件聚焦到样品托的背部。

该加热器主要优点是:加热温度高,可快速升温、降温,可承受更高的氧分压。同时它是一种最“清洁”的加热方式,可保证良好的真空环境。


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