台式EUV曝光机

德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司，成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统，各种类型的深（极）紫外光源，光学元件，集成的分析光谱仪器，软X射线解决方案等。

• 台式EUV曝光机
  

• 模块化系统

• 全自动按钮操作

• 长时间工作稳定

• PLC 安全控制