RHEA-100 RHEED能量分析仪
RHEA-100 RHEED能量分析仪可以原位检测电子能量损失图谱(EELS)。采用灵敏的光电倍增管和锁相技术可以测量不同衍射角度的电子能量分布，因此，在材料生长过程中快速灵敏的测量能量损失可以了解材料表面的元素组成及化学状态。
RHEA-100 RHEED能量分析仪有不同的操作模式：1，在荧光屏上呈现能量过滤的完整RHEED图谱。2，测量所选角度范围内的原位能量损耗分布。分析仪可以提供非弹性散射电子的迁移，并通过EELS实现表面化学态的快速原位检测。从而保持了RHEED的所有优点，如生长过程原位成像，较长的工作距离，视频同步图像采集，震荡强度。
特点：
法兰：CF100
工作距离：50-250mm
工作气压：UHV-10-5Torr
能量分辨率：优于原始能量的0.02%
能量范围：15keV，20keV，30keV
电子监测：荧光屏
过滤角度：20°
数据收集：光电倍增管和锁相放大器的EELS测量系统，CCD照相观测衍射图谱
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直达具体产品分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 离子源、电子枪
