ESA100/150是圆柱镜面对称的紧凑型能量分析仪，可以安装或者改进标准的系统。新的分析仪具备：较大的工作距离，距光谱仪约有33mm；可调节的能量分辨率和分辨能力，以及电子可选择；可以测量较大的样品面积，对样品位置无苛刻要求；对样品位置的能量校准具备非常好的稳定性；宽能量范围的完整电子源；通过电脑上的多功能软件完整的控制分析仪。
ESA法兰尺寸是CF100或6英寸的，样品位置通过设备前面板显示，显示出样品周围较宽的可用范围。从法兰到样品有较大的距离，可以根据标准的或者特殊的腔体加装特殊的转接口以便安装ESA能量分析仪。电子枪提供具有宽范围能量扫描能力的非常好的聚焦光束。样品可选择的SEM成像功能可以在测试区域精确选择。
特点：
能量范围：10-2500eV
分辨率：1-10eV，电子可调
能量分辨率由于REELS应用的原始束流能量
分辨能力：0.1%-0.6%，电子可调
分析模式：dE=常数，dE/E=常数，电子可选
探测：锁相技术；脉冲计数技术
数据收集：多功能WinSpectro XP和分析软件收集，可以对能量，分辨率，分析模式，电子倍增器控制；WinSpectroSEM软件和SEM附件可以对样品沿XY扫描和成像。
超高真空设计，烘烤温度最高为250℃。
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直达具体产品分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 离子源、电子枪
