磁力驱动的超高真空单轴机械手(WM40系列)是操作各种不同的样品托的通用工具
可用于操作超高真空内的机构和部件
机械手末端可配置不同功能的叉或者爪操作工具
产品特点:
安装法兰口:DN40CF,可定制;
机械手摆动偏转角度范围:± 20°,大偏转角设计版本可达 ± 28°;
线性力:30 N;
扭矩:0.5 Nm;
可承受的烘烤温度:Max. 150 ℃;
推荐的工作气压范围:1000 mbar ~ 1 x 10-11 mbar;
线性传输行程:100/150/200/250/300 mm,其余传输行程需定制;
缩回长度:法兰平面到夹嘴钳柄末端的距离,可定制;
适应于各种超高真空系统;
可选配各种功能的末端工具;
可选配机械手支撑支架;
埃伯仪器是专业的真空薄膜制备解决方案供应商,主要产品有分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等!