德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司，成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统，各种类型的深（极）紫外光源，光学元件，集成的分析光谱仪器，软X射线解决方案等。
EUV 光谱仪
反射/透射测试
光谱范围：8～40 nm
束斑直径：< 50 微米
曝光时间：< 10 s
技术参数：
| wavelength range | 8 ~ 40 nm |
| Spot size | < 50 micron |
| Time to measure | within 30 seconds |
| Precision | 0.5 % / 10 pm |
| Accuracy | 1 % / 20 pm |
埃伯仪器是专业的真空薄膜制备解决方案供应商，主要产品有分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等！！
