德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司，成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统，各种类型的深（极）紫外光源，光学元件，集成的分析光谱仪器，软X射线解决方案等。
我们提EUV/XUV分析测试系统相关的OEM组件：包括EUV 光源，EUV CCD相机模块，EUV光谱分析模块，EUV能量监控模块，EUV聚焦模块.
EUV/XUV 光源主要分两种：激光产生等离子体的EUV光源 (LPP) 和放电产生等离子体的EUV光源 (DPP).
模块化系统
全自动按钮操作
长时间工作稳定
PLC 安全控制
产品型号选择：
EUV Lamp DPP, standard | Xenon or air emission spectra Xe: ≥ 2 W EUV ≥ 150 mW EUV inband ≥ 2000 h operation MTBF 24 / 7 operation |
EUV Lamp DPP, power
| Xe: ≥ 8 W EUV ≥ 700 mW EUV inband ≥ 500 h operation MTBF Burst (up to 1 hour) permanent operation |
EUV LPP, metrology
| ≥ 5 mW EUV emission gold quasi-continuum spectra < 50 μm source diameter |
EUV-Irrad Source, Standard | Xe: ≥ 250 W EUV ≥ 20 W EUV inband or N2 water window (2.4 -4.4 nm) emission |
| EUV-Irrad Source, Power | Few minute bursts of Xe ≥ 500 W EUV ≥ 40 W EUV inband @ 13.5 nm |
EUV-Brightness LPP (concept) | Source size down to 20 μm Inband brightness ≥ 200 W/(mm2 sr) Top head high brightness profile |
典型用户：长春光机所，光电研究院（北京）
埃伯仪器是专业的真空薄膜制备解决方案供应商，主要产品有分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等！！
