德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司，成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统，各种类型的深（极）紫外光源，光学元件，集成的分析光谱仪器，软X射线解决方案等。
我们提EUV/XUV分析测试系统相关的OEM组件：包括EUV 光源，EUV CCD相机模块，EUV光谱分析模块，EUV能量监控模块，EUV聚焦模块.
EUV光源分布分析CCD相机
技术参数：
wavelength Band width Focal length Operation pressure | 13.5 nm 0.45 nm 250 mm(Nominal) 10-7 mbar |
Length Width Max. Height Weight | 1000 mm 480 mm 450 mm 20 kg |
Interface | DN 40 CF |
Electronic connections | GigE / POE |
埃伯仪器是专业的真空薄膜制备解决方案供应商，主要产品有分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等！！
