OCTOPLUS 600

分子束外延MBE系统

OCTOPLUS 600 分子束外延系统兼容3x2英寸，或单片6英寸衬底，具有高可靠性和多功能性，适用于III/V族， II/VI族或其他异质结构材料生长应用研发与生产。

标准MBE系统-OCTOPLUS 600

腔体尺寸：600 mm ID，液氮冷屏

本底真空：< 5 × 10^-11 mbar

真空系统：冷泵+离子泵+钛升华泵

样品尺寸：4或者6英寸，向下兼容   

加热器：   可选Ta/PG/W材质，温度可达800 °C，1000 °C或1400 °C

源炉法兰：12 × DN 100 CF

应用领域：SiGe，III-V, II-VI, 二维材料、拓扑超导材料等

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直达具体产品分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 离子源‍、电子枪