OCTOPLUS 500


腔体尺寸: 550 mm ID,液氮冷屏(兼容水冷)

样品尺寸:  最大4 英寸,向下兼容小尺寸样品

加  热  器: SiC,W等多种类型可选,最高温度达1500 ℃

源炉法兰: 12 × DN63CF

应用领域: III-V,  II-VI
规格: 定制型
品牌: 德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH
产品详情


基于于团队成员的多年研发经验,我们发展和制造了分子束外延系统MBEOCTOPLUS 500 MBE系统及各种功能的源炉。每个产品都是由MBE专业人才进行组装和测试的。

OCTOPLUS 500 MBE系统是为了在6英寸衬底上生长高质量的III/V族或者II-VI族异质结构材料而研发的。样品台选用热解石墨加热或者钨、钽加热丝。OCTOPLUS 500 MBE系统是公认的非常适合于III/V族, II/VI族或其他异质结构材料生长应用研发与生产。

OCTOPLUS 500 MBE系统的主要特点是极高的可靠性和普适性。标准的Octoplus 500有11个呈放射状分布的源孔,可以根据需要增选3个源孔。快速抽真空进样室配有水平磁力杆传输系统,可以在不破坏MBE腔室真空的前提下,简便地进行样品传输。

腔体尺寸: 550 mm ID,液氮冷屏(兼容水冷)

本底真空: < 5 × 10-11 mbar

样品尺寸:   最大4 英寸,向下兼容小尺寸样品

加   热   器: SiC,W等多种类型可选,最高温度达1500 ℃

源炉法兰: 12 × DN63CF

应用领域: III-V,   II-VI


OCTOPLUS 500 MBE系统的的主要参数规格:

● ID 550 mm

● 应用于III/V族, II/VI族或其他异质结构材料

● 最大6英寸晶片,或7x2英寸晶片

● 进样室和缓冲腔室

● 线性样品传输系统

● 标准法兰孔数目(标准11个,可按要求增加3个)

● 束流源,气体源,样品台

● 抽真空系统(离子吸附泵,分子泵,低温泵等)

● 原位表征能力

● 软件/硬件控制系统

● 额外要求可定制

我们非常乐意一起讨论MBE的参数规格并给出相应的合理建议。如有问题或需要详细的参数规格说明,请联系我们的销售部门。

如果您有任何设备需求或技术咨询,欢迎随时联系我们

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直达具体产品分子束外延系统MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源离子源‍、电子枪



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