自旋式靶台
自旋式靶台通过靶材的自转来保证灼蚀的均匀性。自转是由一个直流马达通过旋转馈通器来控制的。
根据不同需求，可选择几个靶材单独自转或是同时自转。
可以通过步进马达自动选靶，以实现多层膜自动化生长。
扫描式靶台
在扫描式靶台中，靶材可在水平和垂直方向进行扫描，从而使激光相对扫过靶材表面，但羽辉的位置以及角度相对于基片不发生改变，保证了沉积的稳定性。
在进行多次连续沉积实验的时，可以选择扫描靶材的不同区域。因此，靶材可以长时间使用，而不需要每次沉积后都打磨靶材表面，使靶材的损耗最小化。
相比于自旋式靶台，扫描式靶台可以根据不同的靶材调整扫描范围，可用于不规则形状的靶材。
扫描以及选靶均由电脑自动控制，可用于多层膜自动化生长实验。
