荷兰Twente Solid State Technology BV(TSST)公司专注于为用户提供定制化的脉冲激光沉积系统(PLD),以及相关薄膜制备解决方案,公司具有20多年研究与生产脉冲激光沉积系统的经验。
TSST与世界最大的纳米与微系统技术研究中心之一荷兰Twente大学MESA+ Institute保持着密切合作,开发出各种脉冲激光沉积技术中需要使用的核心技术。
大面积脉冲激光沉积实现原理:利用激光在条形靶材表面的扫描,实现大面积的薄膜生长;
靶材台展示:
大面积样品加热台展示:
样品生长结果(YSZ on Silicon):