离子源是使试样原子或分子电离，从中引出具有一定形状、能量和强度的离子束的装置，是各种类型粒子加速器、质谱仪、离子束刻蚀装置不可缺少的部件。
根据不同的应用需求，我们提供多种型号和规格的离子源供用户选用，用于样品刻蚀、精密刻蚀和深度剖析、电荷中和等等。我们的离子源设计紧凑、质轻、性能高，采用独一无二的电子光学设计，具有无与伦比的优势。
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直达具体产品分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 离子源、电子枪
