快速进样室
可集成于Korvus HEX-L系统上。
主要指标:
1. 6 英寸样品
埃伯仪器是专业的真空薄膜制备解决方案供应商,主要产品有分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等!
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