磁控溅射靶枪
可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。
主要指标:
1. 靶材尺寸:2英寸
2. 靶材厚度:0.5-6 mm,1 mm(磁性材料)
3. 可兼容直流电源,射频电源,脉冲直流电源,高功率脉冲电源
4. 设计有水冷管道
5. 靶材利用率高达40%
电话:010-53399726 邮箱:Info@be-instruments.com 地址: 北京市朝阳区八里庄西里100号1号楼12层东区1208号
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