Mini电子束蒸发源

Mini电子束蒸发源

可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。

主要指标：

1.   蒸发口数量：1 / 4

2.   材料棒，坩埚尺寸：2-4 mm直径，长度27 mm，最大1 cc坩埚

3.   250 W/500 W供电电源，多通道控制，可共蒸发

4.   适用于超薄薄膜制备，10 nm到单原子层。

5.   靶材利用率高

埃伯仪器是专业的真空薄膜制备解决方案供应商，主要产品有分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等！